Ziel der Messanlage dimensionCONTROL ist die berührungslose Geometrievermessung von Ingots. Im Einzelnen werden die Abweichung der Seitenlängen, Phasenlängen, Winkel und Diagonallängen bezogen auf die vorgegebenen Sollwerte gemessen.

 

In einem teilautomatisierten Rüstvorgang werden zunächst das Aufnahmeprisma und die Sensorik eingestellt und kalibriert. Danach kann der zu messende Ingotblock eingelegt werden. Der Messschlitten bewegt die vier laseroptischen Triangulations-Linienscanner vom Typ für scanCONTROL LLT 2800 entlang des Ingotblocks. Das System misst und archiviert automatisch Abweichungen der vorgegeben Sollwerte für Seitenlängen, Phasenlängen, Winkel und Diagonallängen.

 

Prinzip der Laser-Linien-Triangulation
Bei dem Prinzip des Scannens mit optischer Triangulation wird über eine Linien-Optik eine Laserlinie auf die Messobjektoberfläche projiziert. Das diffus reflektierte Licht dieser Laserlinie wird über eine hochwertige Optik auf eine CMOS-Matrix abgebildet und zweidimensional ausgewertet. Die Laser-Linien-Triangulation entspricht im Prinzip der Triangulation eines Laserpunktes, zusätzlich wird bei der Messung eine Reihe von Zeilen gleichzeitig mittels der Laserlinie belichtet. Neben der  Abstandsinformation (Z-Achse) wird auch die exakte Position eines jeden Punktes auf der Laserlinie (X-Achse) erfasst und vom System ausgegeben.

 

Datenblatt


Messgenauigkeiten
Seitenlänge
Auflösung: A ≤ 20 μm
Wiederholpräzision:

cgm ≤ 1,33

Produktionstoleranz T ≥ ± 0,40 mm

Fase
Auflösung: A ≤ 14 μm
Wiederholpräzision: cgm ≤ 1,33
  Produktionstoleranz T ≥ ± 0,28 mm
Diagonale
Auflösung: A ≤ 40 μm
Wiederholpräzision:

cgm ≤ 1,33

Produktionstoleranz T ≥ ± 0,50 mm

Winkel
Auflösung: A ≤ 0,005 °
Wiederholpräzision:

cgm ≤ 1,33

Produktionstoleranz T ≥ ± 0,10 °

Targeteigenschaften
Targetmaterial

Silizium, Waferblöcke (Ingots)

- geschnitten, quadriert, gefast

Oberfläche Matt grau bis spiegelnd mit unterschiedlichen Rauhigkeiten.
Innerhalb einer Seitenfläche homogen, mit ausreichendem Streulichtanteil
Querschnitt min. 125 x 125 mm,
max. 210 x 210 mm
Länge min. 150 mm, max. 800 mm
Gewicht min. 3,5 kg, max. 83 kg
Anlagenkennwerte
Maße Meßsystem (L x B x H) 2350 x 850 x 1500 mm
Gewicht: ca. 900 kg
Eigenschaften IPC Intel Core Duo / 2 GHz / 1 GB RAM /
Windows XP
Netzspannung: 230 V / 50 Hz
Schutzart: IP 20
Umweltbedingungen
Umgebungstemperatur min + 15 °C / max. + 40 °C
Temperaturschwankungen während des Betriebes ±5 °C
Rel. Luftfeuchte Max. 75 % im angegebenen Temperaturbereich
Produktoberflächentemperatur min + 20° C / max. + 45° C

 


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Zustand Gebraucht
Hersteller MICRO-EPSILON-MESSTECHNIK GmbH & Co. KG
Modell dimCONTROL 8260
Inhalt 1 Stück
Gewicht 900000 g
Maße 2380×850×1500mm
Art.-ID 1234578439
Art.-ID 1234578439

MICRO-EPSILON-MESSTECHNIK GmbH & Co. KG

Micro-Epsilon Messanlage Dimension Control dimCONTROL 8260


Artikelnummer VN-7132
EAN
Zustand Gebraucht
Verfügbare Stückzahl 1

4.498,95 EUR *
Inhalt 1 Stück
sofort verfügbar
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